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业界 | 中国芯片研发新突破:全球首台超分辨光刻装备研制成功

大数据文摘出品消息来源:中国军网中国芯片终于有了一些好消息!壹壹月贰玖日,中科院光电技术研究所宣布,其承担的国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”通过验收。这是世界上首台用紫外光源实现了贰贰纳米分辨率的光刻机。据介绍,中科院光电所超分辨光刻装备项...

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